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发明名称 SUBSTRATE DETERGENT
摘要
申请公布号 AU2002338176(A1) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20020338176 申请日期 2002.10.11
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 MAYUMI KIMURA;ICHIRO HAYASHIDA;MASAHIKO KAKIZAWA
分类号 C11D3/34;C11D11/00;C23F11/16;H01L21/02;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C11D3/34
代理机构 代理人
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