发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR COMPENSATING FOR ANNEAL NON-UNIFORMITIES |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003270760(A1) |
申请公布日期 |
2004.05.04 |
申请号 |
AU20030270760 |
申请日期 |
2003.09.18 |
申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
ANTHONY RENAU |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/266;H01L21/324;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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