| 发明名称 |
TRENCH INSULATION IN SUBSTRATE DISKS COMPRISING LOGIC SEMICONDUCTORS AND POWER SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003273747(A1) |
申请公布日期 |
2004.05.04 |
| 申请号 |
AU20030273747 |
申请日期 |
2003.10.08 |
| 申请人 |
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG |
发明人 |
RALF LERNER;UWE ECKOLDT |
| 分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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