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经营范围
发明名称
PLASMA OSCILLATION SWITCHING DEVICE
摘要
申请公布号
AU2003266701(A1)
申请公布日期
2004.05.04
申请号
AU20030266701
申请日期
2003.09.30
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
KOICHI MIZUNO;ASAMIRA SUZUKI;TOSHIYA YOKOGAWA;SHIGEO YOSHII;NOBUYUKI OTSUKA
分类号
H01L29/812;H01L21/338;H01L29/20;H01L29/778;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/80;H01L29/66;H01L29/78;H01L21/336
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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