发明名称 PLASMA OSCILLATION SWITCHING DEVICE
摘要
申请公布号 AU2003266701(A1) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20030266701 申请日期 2003.09.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 KOICHI MIZUNO;ASAMIRA SUZUKI;TOSHIYA YOKOGAWA;SHIGEO YOSHII;NOBUYUKI OTSUKA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/20;H01L29/778;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/80;H01L29/66;H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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