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发明名称 RAPID THERMAL PROCESSING SYSTEM FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 AU2003282513(A1) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20030282513 申请日期 2003.10.09
申请人 MATTSON TECHNOLOGY, INC. 发明人 SING-PIN TAY;YAO-ZHI HU
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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