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发明名称
LIGHTING SYSTEM COMPRISING A DEVICE FOR ADJUSTING THE LIGHT INTENSITY
摘要
申请公布号
AU2003258657(A1)
申请公布日期
2004.05.04
申请号
AU20030258657
申请日期
2003.08.23
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
MANFRED MAUL;MARKUS WEISS;WOLFGANG SINGER;MARTIN ANTONI;FRANK MELZER;JOHANNES WANGLER;JOACHIM HAINZ;JOACHIM WIETZORREK
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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