发明名称 METHOD FOR TREATING SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 AU2003282664(A1) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20030282664 申请日期 2003.10.03
申请人 SILICON GENESIS CORPORATION 发明人 MARTIN FUERFANGER;HARRY KIRK;ARIEL FLAT;MICHAEL, IRA CURRENT;PHILIP, JAMES ONG;IGOR, J. MALIK;SIEN, G. KANG
分类号 C30B33/00;H01L21/20;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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