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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING AN OXIDE FILM
摘要
申请公布号 AU2003277330(A1) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20030277330 申请日期 2003.10.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 NORMA, B. RILEY;ROGER, N. ANDERSON;PAUL, B. COMITA;ANN WALDHAUER
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/48;C23C16/52;C23C16/54;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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