一种叠堆闸细胞元结构及其非和型快闪记忆阵列的制造方法

摘要

一种叠堆闸细胞元结构具有一种斜角漂浮闸层及一种横向梯度源／泄扩散分布系用来形成非和型细胞元串于具有高耦合比之一种自动对准浅凹槽隔离结构之上。偶对串选择线及偶对接地选择线形成于单边斜角漂浮闸层之上系同时藉由一种垫层形成技术来形成且因而可以微缩化。共源导电管线的每一个系形成于该偶对接地选择线的侧边墙之上的一对侧边墙介电垫层之间的一个第一平坦床之上。复数平面化导电岛系形成于该偶对串选择线的侧边墙之上的另一对侧边墙介电垫层之间的共泄扩散区之上且与复数金属位元线同时藉由一个罩幕光阻步骤来成形。