| 摘要 |
本发明系关于藉气体物质(A)之目标热分解而沈积固体(B)之方法，所用物质(A)的密度比分解期间内形成的气体产物(C)来得高，此处使用的装置具友杯(1)(其可直接或间接加热而受热)、底座(1.1)(其朝向重力方向(g))和开口区域(1.2)(其朝向与重力方向(g)相反的方向)、温度测定和控制单元(3.3)，物质添加单元(2)，其具有物质进料管线(3.1)和计量单元(3.2)，物质添加单元(2)朝向重力(g)方向并喷注进入杯(1)之介于底座(1.1)和开口区域(1.2)之间的自由空间，反应器框架(3)和供气体产物(C)使用的出口(3.6)。藉单矽烷之经控制的热分解反应，此方法和装置特别可用以制造锭形式的高纯度多晶矽整体。 |
