接合方法及装置暨接合体

摘要

本发明之接合方法及接合装置，系在将具有金属接合部的被接合物彼此间接合于基材的表面上时，藉由能量波洗净两被接合物的上述金属接合部的表面后，在大气中以超音波接合金属接合部彼此间。藉由该技术，可进行不会被施加损伤地达成所需之超音波接合，亦可达成超音波接合时间的缩短、进而达成接合步骤全体的生产节拍时间的缩短，同时，可缩小超音波能容量，因此可实现装置全体的小型化、低成本。另外，可进行知所无法进行超音波接合的异种金属，例如，金／铜或金／铝的组合的接合。