温度控制被检查体的探针装置及探针检查方法

摘要

提供一种在温度控制下检查被检查体的探针装置100。该探针装置具有：工作台基座2，及Z工作台10、及具有框状构造的X－Y工作台12、及配置于X－Y工作台上的基板固定机构23、及与基板固定机构相对向配置的探针卡14，及被固定在Z工作台上，且使得其轴心与从探针卡的探针中心所垂下的延长线一致地配置在X－Y工作台的框形构造内的探测工作台3；该探测工作台是具备加热及冷却被检查体所用的温度控制装置及探测昇降机构，从底面支持被检查体基板，并进行被检查体的温度控制。