半导体制程参数之无侵入测量及分析的方法及装置

摘要

本发明揭露出一种感应与分析等离子体制程参数的RF感应器。RF感应器设有一等离子体制程工具以及一天线，以用来接收从等离子体制程工具射出的RF能。该天线系邻近该等离子体制程工具而放置，以致于无侵入性。此外，可将RF感应器架构用于从等离子体制程工具所射出之RF能之多谐波的宽频接收。再者，RF感应器可能耦合到一高通滤波器与一处理器，以用来处理收到的RF能。此外，该天线可放置于具有吸收器的罩壳内，以减少RF感应器所受到的干扰。此外，工具控制可根据收到RF能所提供的讯息而耦合到该处理器，以提供来调整并维持许多的等离子体制程参数。