摘要 |
半导体测试资料分析系统(1)在分析作业期间自动记录分析作业之作业资讯,包括:用于输入测试资料之分析条件或分析程序,或由分析作业所获得之分析资讯。此分析系统包括:处理装置(101);分析目标资料储存装置(109),其储存测试资料作为分析目标资料;历史资料储存装置(107),其储存分析作业之作业资讯与由分析作业所获得之分析资讯作为历史资料;以及显示资料储存装置(112),其储存由分析作业所获得之分析资讯,其储存由处理装置所产生之分析显示资料,用于显示由分析作业所获得分析资讯之目的。在此系统中,当设定新的分析作业时,此处理装置(101)根据分析作业处理输入测试资料,并且由新的分析作业处理分析目标资料、历史资料、以及显示资料之至少之一。 |