厚壁二氧化矽管件之制造

摘要

一种生产一具有低气泡含量之二氧化矽玻璃体的方法，包括在一旋转熔炉壳体(20)之一容室(62)内熔化二氧化矽，以形成熔态二氧化矽。含氦之气体系在导入砂期间及加热步骤期间进给至容室内，氦比其他气体更易于熔态二氧化矽内扩散，而造成较低气泡含量。熔炉系藉由在容室内之间隔电极(64、66)之间建立一气体电浆电弧(60)而加热。