在表面上利用聚焦电子束诱发之化学反应蚀刻在此表面上之物质的方法

摘要

本发明有关一在表面上利用聚焦电子束诱发之化学反应蚀刻在此表面上之物质的方法，此方法包含以下步骤：a)在一真空大气中，以至少一分子束及至少一第一电子束来辐照受蚀刻物质，因此受辐照物质及分子束的分子被激励的方式可发生一化学反应及形成一非气态／非挥发性的反应产物–反应步骤。本发明的特征在于b)利用一将物质局部地加热至一比反应产物汽化温度更高的温度之第二电子束藉以将反应产物从该表面蒸发–移除步骤。