用于表面声波切换的微机电装置和方法

摘要

揭示用于表面声波(SAW)切换之微机电系统(MEMS)装置和方法。装置包含一具有隔开的输入和输出SAW变换器之压电基质。一MEMS开关配置在输入和输出SAW变换器之间。MEMS开关有一可变形元件，其与形成于基质上面或上方的一或多个启动电极以电磁方式交流。可变形元件可变形，以机械方式接触基质，以偏向或吸收由输入SAW变换器所产生之SAW。