| 主权项 |
1.一种彩色滤光片镀膜方法,包含下列步骤:于一基板上形成一第一光阻层;以曝光显影方式于该第一光阻层上形成至少一对准图案与一第一色膜图案;涂布一第一色料,使得该第一色料填于该对准图案与该第一色膜图案中;去除该第一光阻层;于形成有该对准图案与该第一色膜图案之该基板上形成一第二光阻层;利用该基板上之该对准图案进行对准,以曝光显影方式于该第二光阻层上形成一第二色膜图案;涂布一第二色料,使得该第二色料填于该第二色膜图案中;以及去除该第二光阻层。2.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片镀膜方法,更包含于形成有该对准图案、该第一色膜图案与该第二色膜图案之该基板上形成一第三光阻层。3.如申请专利范围第2项所述之彩色滤光片镀膜方法,更包含利用该基板上之该对准图案进行对准,以曝光显影方式于该第三光阻层上形成一第三色膜图案。4.如申请专利范围第3项所述之彩色滤光片镀膜方法,更包含涂布一第三色料,使得该第三色料填于该第三色膜图案中。5.如申请专利范围第2项所述之彩色滤光片镀膜方法,更包含去除该第三光阻层。6.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片镀膜方法,其中该对准图案系为两个以上。图式简单说明:图1系为一方块图,说明本发明之彩色滤光片镀膜方法。图2A到图2I系为一系列示意图,说明本发明实施例之彩色滤光片镀膜方法。 |
