| 主权项 |
1.一种基板处理装置之流程作成方法,为藉由具备对于基板实施处理之多个资源的基板处理装置,而一面使用各资源一面进行处理之际,决定使用各个资源之时间点,其特征在于,前述方法系包含有下列步骤:于实际上对基板开始处理之前,预先作成各资源之使用时间点的同时,针对以各资源使用之消费材料,将在最大消费量以内作为可使用之资源而定义容量资源,在使用各资源而对基板进行处理的情况下,藉由前述各资源所使用之消费材料之总计为回避超越前述容量资源之最大消费量,而使用前述各资源之步骤。2.如申请专利范围第1项之方法,其中前述之容量资源系为求出资源所使用之每单位时间的消费量之总计,当此种消费量超过最大消费量的情况下,则以避免形成该原因之资源的使用。3.如申请专利范围第1项之方法,其中前述消费材料系包含有电力、纯水、药水、气体中之任一种。4.如申请专利范围第2项之方法,其中前述消费材料系包含有电力、纯水、药水、气体中之任一种。5.如申请专利范围第1项之方法,其中前述资源系包含有基板搬送机构、纯水洗净处理部、温水单元、药水处理部、加热处理部中之任一种。6.一种基板处理装置之流程作成方法之电脑可读取媒体,为藉由具备对于基板实施处理之多个资源的基板处理装置,而一面使用各资源一面进行处理之际,决定使用各个资源之时间点,其特征在于,前述电脑可读取媒体系包含有以下之处理:于实际上对基板开始处理之前,预先作成各资源之使用时间点的同时,针对出各资源所使用之消费材料,将在最大消费量以内作为可使用之资源而定义容量资源,在使用各资源而对基板进行处理的情况下,由前述各资源所使用之消费材料之总计为回避超越前述容量资源之最大消费量,而以使用前述各资源般地控制电脑之处理。7.如申请专利范围第6项之电脑可读取媒体,其中前述之容量资源系为求出资源所使用之每单位时间的消费量之总计,当此种消费量超过最大消费量的情况下,则以避免形成该原因之资源的使用。8.如申请专利范围第6项之电脑可读取媒体,其中前述消费材料系包含有电力、纯水、药水、气体中之任一种。9.如申请专利范围第7项之电脑可读取媒体,其中前述消费材料系包含有电力、纯水、药水、气体中之任一种。10.如申请专利范围第6项之电脑可读取媒体,其中前述资源系包含有基板搬送机构、纯水洗净处理部、温水单元、药水处理部、加热处理部中之任一种。11.一种基板处理装置之流程作成方法,为藉由具备对于基板实施处理之多个资源的基板处理装置,而一面使用各资源一面进行处理之际,决定使用各个资源之时间点,其特征在于,前述方法系包含有以下之步骤:于实际上对基板开始处理之前,预先作成各资源之使用时间点的同时,针对由各资源所排出之废材,将在最大排出量以内作为可使用之资源而定义容量资源,在使用各资源而对基板进行处理的情况下,由前述各资源所排出之废材之总计为回避超越前述容量资源之最大排出量,而使用前述各资源之步骤。12.如申请专利范围第11项之方法,其中前述之容量资源系为求出资源所使用之每单位时间的排出量之总计,当此种排出量超过最大排出量的情况下,则以避免形成该原因之资源的使用。13.如申请专利范围第11项之方法,其中前述废材系为排液或是排气。14.如申请专利范围第12项之方法,其中前述废材系为排液或是排气。15.如申请专利范围第11项之方法,其中前述资源系包含有基板搬送机构、纯水洗净处理部、温水单元、药水处理部、加热处理部中之任一种。16.一种基板处理装置之流程作成方法之电脑可读取媒体,为藉由具备对于基板实施处理之多个资源的基板处理装置,而一面使用各资源一面进行处理之际,决定使用各个资源之时间点,其特征在于,前述电脑可读取媒体系包含有以下之处理:于实际上对基板开始处理之前,预先作成各资源之使用时间点的同时,针对由各资源所排出之废材,将在最大排出量以内作为可使用之资源而定义容量资源,在使用各资源而对基板进行处理的情况下,由前述各资源所排出之废材之总计为回避超越前述容量资源之最大排出量,而以使用前述各资源般地控制电脑之处理。17.如申请专利范围第16项之电脑可读取媒体,其中前述之容量资源系为求出资源所使用之每单位时间的消费量之总计,当此种消费量超过最大消费量的情况下,则以避免形成该原因之资源的使用。18.如申请专利范围第16项之电脑可读取媒体,其中前述废材系为排液或是排气。19.如申请专利范围第17项之电脑可读取媒体,其中前述废材系为排液或是排气。20.如申请专利范围第16项之电脑可读取媒体,其中前述资源系包含有基板搬送机构、纯水洗净处理部、温水单元、药水处理部、加热处理部中之任一种。图式简单说明:第1图所示系有关实施例之基板处理装置之概略构成平面图。第2图所示系有关实施例之基板处理装置之概略构成方块图。第3图所示系资源与容量资源之关系时序图。第4图所示系传输率例之一部份的时序图。第5图所示系传输率例之一部份的时序图。第6图所示系传输率例之一部份的时序图。第7图所示系传输率例之一部份的时序图。 |
