| 主权项 |
1.一种微机电系统(MEMS)开关组件,包含:一切换构件,具有一第一部分,其至少部分由具有第一介电常数之绝缘材料构成,及具有第二部分,其至少部分由具有低于第一介电常数之第二介电常数之导电材料构成,该切换构件系构型以移动于第一位置与第二位置之间;第一接线系构型以实质与该切换构件之第一表面作连续接触;及一第二接线,与第一接线分开,其构型可实质与该切换构件之第二表面作连续接触,该切换构件之导电材料之构型,在该切换构件为第一位置时可提供坚实之电连接于第一接线与第二接线之间,该绝缘材料系构型以在切换构件在第二位置时提供一较不坚实之电连接于第一接线与第二接线之间。2.如申请专利范围第1项之MEMS开关组件,其中该切换构件包含一具有与第二表面相对之第一表面之碟形部分,该碟形部分系构型以使在第一位置及第二位置间之旋转。3.如申请专利范围第2项之MEMS开关组件,其中该绝缘材料及导电材料系泼溅在一环形基板上,以构成该碟形部分。4.如申请专利范围第3项之MEMS开关组件,其中该定形部分由一棒支撑,该碟形部分及该棒系构型以可旋转。5.如申请专利范围第1项之MEMS开关组件,尚包含:一第三接线,系构型以实质与该切换构件之第一表面作连续接触;及一第四接线,其在空间与第三接线分开,接线构型为实质与切换构件之第二表面作连续接触,该第一接线及第二接线电连接至一接收机,该第三接线及第四接线连接至一发射机,俾该MEMS开关组件可操作以在该发射机与接收机间切换连接。6.如申请专利范围第1项之MEMS开关组件,其中该切换构件包含一第三部分,其至少部分由绝缘材料构成,及一第四部分至少部分由导电材料构成,该切换构件系构型以经第一位置及第二位置旋转,以提供一天线开关供时分多路存取(TDMA)应用。7.如申请专利范围第1项之MEMS开关组件,其中该第一介电常数系在150-200范围之间。8.如申请专利范围第1项之MEMS开关组件,其中该第二介电常数在3-6之范围。9.如申请专利范围第1项之MEMS开关组件,其中该绝缘材料系选自包含钛酸盐及氧化钴之一组。10.一种微机电系统(MEMS)开关组件,包含:一切换构件,具有一棒与一环形部分一体成型,该环形部分具有第一部分,其系以绝缘材料泼溅其上,及具有第二部分以导电材料泼溅其上以构成一碟形部分,该绝缘材料有一第一介电常数,其实质高于该导电材料之第二介电常数,该切换构件可绕一轴旋转,及可至少在第一位置与第二位置间旋转;一第一接线之构型为实质可与该切换构件之第一表面连续接触;一第二接线与第一接线空间分开,其系构型以实质可与切换构件之第二表面连续接触,该切换构件之导电材料之构型,在切换构件在第一位置时,可提供一坚实电连接于第一接线与第二接线之间,该绝缘材料系构型以在切换构件在第二位置时提供一较不坚实之电连接于第一接线与第二接线之间。11.如申请专利范围第10项之微机电系统(MEMS)开关组件,其中该绝缘材料系选自含钛酸盐及氧化钴之一组。12.如申请专利范围第10项之微机电系统(MEMS)开关组件,尚含:一第三接线,其构型可实质与切换构件之该第一表面作连续接触;及一第四接线与第一接线空间分开,其构型可实质与切换构件之第二表面作连续接触,其中之该第一接线与第二接线系构型以供第一电连接至一接收机,及第三接线与第四接线系构型以供一第二连接至一发射机,以使MEMS开关组件可操作以切换于该发射机与接收机间之连接。13.如申请专利范围第10项之微机电系统(MEMS)开关组件,其中该第一介电常数系在150-200之范围。14.如申请专利范围第10项之微机电系统(MEMS)开关组件,其中该第二介电常数系在3-6之范围。15.一种构成一MEMS开关组件之方法,该方法含:提供一基板;在基板上沉积一绝缘材料及一导电材料,以构成切换构件;将第一接线与第二接线置于实质与该切换构件成连续接触;将切换构件构型为当需要一坚实电连接时,将导电材料沉积于第一接线与第二接线之间,以使绝缘材料在需要较少坚实之电连接时,沉积于第一接线与第二接线之间。16.如申请专利范围第15项之形成一MEMS开关组件之方法,其中该第一介电常数系约在150-200之范围。17.如申请专利范围第15项之形成一MEMS开关组件之方法,其中该第二介电常数系约在3-6之范围。18.如申请专利范围第15项之形成MEMS开关组件之方法,其中该绝缘材料系选自含钛酸盐及氧化钴之一组。图式简单说明:图1说明本发明非限制方面之微机电开关系统(MEMS)之略图;图2说明根据本发明非限制方面之另一开关组件之略图;图3说明根据本发明非限制方面形成之又一开关组件之略图;及图4说明根据本发明非限制方面形成之开关组件之一部份略图。 |
