| 摘要 |
一种分配涂布材料之系统，包含一欲分配之涂布材料源，及一分配涂布材料之装置。涂布材料于加压下由涂布材料源提供至装置。装置包含具一通道通过其中之主体。阀包含于通道内之一阀座，及一阀构件，该阀构件与阀座接合以关闭阀，且远离阀座移动以开启阀。于一实施例中，阀座与阀构件具有适当尺寸，以当阀构件相对于阀座时，面对阀座之阀构件部分，系暴露于加压之涂布材料。在另一实施例中，阀座、阀构件之最下游部分、及阀构件上之肩部具有适当尺寸，以当最下游部分相对于阀座时，肩部将最下游部分与加压之液体隔离。在又一实施例中，阀座与最下游部分具有适当尺寸，以当阀构件相对于阀座时，最下游部分未暴露于加压之涂布材料。 |
