发明名称 画素结构及其制造方法
摘要 一种画素结构及其制造方法,此方法系将画素结构中薄膜电晶体之通道层以及汲极定义于扫描配线之上方,且未超出扫描配线,藉以降低通道层之光漏电问题,并且使薄膜电晶体制程中当第一金属层与第二金属层之间发生对准不佳时,闸极与汲极间之寄生电容仍不会有改变。伍、(一)、本案代表图为:第___2_____图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明:202:扫描配线 206:通道层 208a/208b:源极/汲极 211:资料配线 212:接触窗 214:画素电极
申请公布号 TW586224 申请公布日期 2004.05.01
申请号 TW092107065 申请日期 2003.03.28
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 来汉中
分类号 H01L27/146;G02F1/136 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一;萧锡清 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种画素结构,包括: 一扫描配线,配置在一基板上; 一闸介电层,配置在该基板上,覆盖该扫描配线; 一通道层,配置在该扫描配线上方之该闸介电层上 ; 一非封闭环状源极,配置在该通道层上; 一汲极,配置在该通道层上,并位在该非封闭环状 源极的内部,其中该通道层、该非封闭环状源极、 该汲极以及位于该通道层下方之该扫描配线系构 成一薄膜电晶体; 一资料配线,配置在该闸介电层上,且该资料配线 系与该非封闭环状源极电性连接; 一保护层,配置在该基板上方,覆盖住该薄膜电晶 体、该扫描配线以及该资料配线; 一接触窗,配置在该保护层中,且与该汲极电性接 触;以及 一画素电极,配置在该保护层上,且该画素电极系 藉由该接触窗而与该汲极电性连接。2.如申请专 利范围第1项所述之画素结构,其中该非封闭环状 源极系位于扫描配线之上方,且未超出该扫描配线 。3.如申请专利范围第1项所述之画素结构,其中该 非封闭环状源极系系于该扫描配线之上方,且超出 该扫描配线。4.如申请专利范围第1项所述之画素 结构,其中该接触窗系位于该汲极之上方,且未超 出该汲极。5.如申请专利范围第1项所述之画素结 构,其中该汲极系位于该扫描配线之上方,且未超 出该扫描配线。6.如申请专利范围第1项所述之画 素结构,其中该通道层系位于该扫描配线之上方, 且未超出该扫描配线。7.如申请专利范围第1项所 述之画素结构,其中该环状源极与该汲极系彼此对 称。8.如申请专利范围第1项所述之画素结构,其中 该环状源极与该汲极系彼此不对称。9.一种画素 结构的制造方法,包括: 在一基板上形成一扫描配线; 在该基板上形成一闸介电层,覆盖该扫描配线; 在该扫描配线上方之该闸介电层上形成一通道层; 在该通道层上形成一非封闭环状源极且在该非封 闭环状源极的内部形成一汲极,并且在该闸介电层 上形成一资料配线,其中该资料配线系与该非封闭 环状源极电性连接,且该通道层、该非封闭环状源 极、该汲褪以及位于该通道层下方之该扫描配线 系构成一薄膜电晶体; 在该基板上方形成一保护层,覆盖住该薄膜电晶体 、该扫描配线以及该资料配线; 在该保护层中形成一接触窗开口,暴露出该汲极; 以及 在该保护层上形成一画素电极,其中该画素电极系 藉由该接触窗开口而与该汲极电性连接。10.如申 请专利范围第9项所述之画素结构的制造方法,其 中该非封闭环状源极系形成于该扫描配线之上方, 且未超出该扫描配线。11.如申请专利范围第9项所 述之画素结构的制造方法,其中该非封闭环状源极 系形成于该扫描配线之上方,且超出该扫描配线。 12.如申请专利范围第9项所述之画素结构的制造方 法,其中该接触窗开口系形成在该汲极之上方,且 未超出该汲极。13.如申请专利范围第9项所述之画 素结构的制造方法,其中该汲极系形成于该扫描配 线之上方,而未超出该扫描配线。14.如申请专利范 围第9项所述之画素结构的制造方法,其中该通道 层系形成于该扫描配线之上方,且未超出该扫描配 线。15.如申请专利范围第9项所述之画素结构的制 造方法,其中所形成之该环状源极与该汲极系彼此 对称。16.如申请专利范围第9项所述之画素结构的 制造方法,其中所形成之该环状源极与该汲极系彼 此不对称。图式简单说明: 第1A图是习知一画素结构之上视示意图; 第1B图是习知画素结构中第一金属层与第二金属 层对准不佳时之上视示意图; 第2图是依照本发明一较佳实施例之画素结构之上 视示意图; 第3图是第2图中由I-I'之剖面示意图;以及 第4图是依照本发明另一较佳实施例之画素结构之 上视示意图。
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