| 主权项 |
1.一种真空泵,其由转轴(19,20)之转动而操作在泵室 (39-43)中之气体输送体(23-32)从而可抽出气体,此真 空泵之特征为包括有: 油外壳件(14,33),其中该油外壳件(14,33)形成一个邻 近泵室(39-43)之油区(331),并且该转轴(19,20)具有一 个突出部份,系从泵室(39-43)穿过该油外壳件(14,33) 而突出到油区(331); 一个环状轴封(49,50,等),被装在突出部份周围而随 转轴(19,20)成一体地转动,其中该轴封(49,50,等)具有 一第1密封形成表面,系与油外壳件(14,33)形成对向; 一第2密封形成表面,系形成在外壳件(14,33)上,其中 该第2密封形成表面与该第1密封形成表面成对向; 以及 一泵唧装置(55,56,等),系被装在该第1密封形成表面 上,其中该泵唧装置(55,56,等)在转轴(19,20)转动时可 迫使第1与第2密封形成表面之间的油,从对应于泵 室(39-43)之侧移动到油区(331)。2.如申请专利范围 第1项之真空泵,其中该外壳件(14,33)具有凹部(47,48, 等),用来容纳该轴封(49,50,等),并且该第2密封形成 表面形成该凹部(47,48,等)之一壁部份。3.如申请专 利范围第2项之真空泵,其中该第1密封形成表面系 为轴封(49,50,等)之外周侧,并且该第2密封形成表面 系为凹部(47,48,等)之周壁。4.如申请专利范围第3 项之真空泵,其中每个密封形成表面为一楔形表面 ,其具有一逐渐地从对应于泵室(39-43)之侧朝向油 区(331)而增加的直径。5.如申请专利范围第3或4项 之真空泵,其中该泵唧装置为一螺旋沟(55,56,等),并 且该螺旋沟(55,56,等)从该转轴(19,20)之转动方向看 去时,形成一个从对应于该油区(331)之侧朝向该泵 室(39-43)之路径。6.如申请专利范围第2项之真空泵 ,其中该第1密封形成表面为该轴封(49C,50C)之一端 面,并且该第2密封形成表面为凹部(61,62)之一底部 。7.如申请专利范围第6项之真空泵,其中该泵唧装 置为一螺旋沟(63,64),并且该螺旋沟(63,64)从该转轴( 19,20)之转动方向看去时,形成一个朝向该轴封(49C, 50C)之路径。8.如申请专利范围第1到4项中任一项 之真空泵,其中该轴封(49,50,等)从该转轴(19,20)上独 立地形成,并且一个密封环(51,52)装在该轴封(49,50, 等)与该转轴(19,20)之间,并且该密封环(51,52)可防止 油从该油区(331)沿着该转轴(19,20)之圆周侧而泄露 到泵室(39-43)。9.如申请专利范围第1到4项中任一 项之真空泵,其中该外壳件(14,33)包括有一个穿孔( 141,142)以供该转轴(19,20)延伸通过,并且该真空泵包 括一个压力导入管线(65,66),其可从该泵室(39-43)导 入排出气体压力到该穿孔(141,142)。10.如申请专利 范围第9项之真空泵,其中该压力导入管线(65,66)会 引导位于泵室(39-43)中最大压力区(432)之压力经由 该穿孔(141,142)而到该泵唧装置为螺旋沟(55,56,等) 。11.如申请专利范围第9项之真空泵,其中压力导 入管线(65,66)被形成在外壳件(14,33)中。12.如申请 专利范围第10项之真空泵,其中压力导入管线(65,66) 被形成在外壳件(14,33)中。13.如申请专利范围第10 项之真空泵,其中该外壳件(14,33)有一个壁表面,暴 露到该最大压力区(432),并且该压力导入管线(65,66) 为一个形成在该壁表面中之沟。14.如申请专利范 围第1到4项中任一项之真空泵,其中有一个轴承(37, 38)用来支持该转轴(19,20),其中该轴承(37,38)是由该 外壳件(14,33)所支持,并且安装在该油区(331)中。15. 如申请专利范围第1到4项中任一项之真空泵,其中 该转轴为多数个平行转轴(19,20)中之一个,一个齿 轮机构(34,35)使该等转轴(19,20)彼此连接,使得该等 转轴(19,20)可成一体转动,并且该齿轮机构(34,35)安 装在该油区(331)中。16.如申请专利范围第15项之真 空泵,其中多数个转子(23-32)被形成在每支转轴(19, 20)之周围,每个转子(23-32)被做为气体输送体之功 能,并且转轴之转子与另一转轴之转子衔接。图式 简单说明: 第1(a)图为本发明第1实施例之多段式的鲁氏泵之 横剖面图; 第1(b)图为显示第1(a)图之泵的第1转轴周围之密封 构造的放大横剖面图; 第1(c)图为显示第1(a)图之泵的第2转轴周围之密封 构造的放大横剖面图; 第2(a)图为沿着第1(a)图之2a-2a线截取之横剖面图; 第2(b)图为沿着第1(a)图之2b-2b线截取之横剖面图; 第2(c)图为沿着第1(a)图之2c-2c线截取之横剖面图; 第3图为显示第1(a)图之鲁氏泵的主要部份之放大 横剖面图; 第4(a)图是显示配合在第1转轴周围之密封构造之 主要部份的放大横剖平面图; 第4(b)图是显示配合在第2转轴周围之密封构造之 主要部份的放大横剖平面图; 第5图为显示本发明第2实施例之密封构造的主要 部份之横剖面图; 第6图为显示本发明第3实施例之密封构造的主要 部份之横剖面图; 第7图为显示本发明第4实施例之密封构造的主要 部份之横剖面图; 第8图为显示本发明第5实施例之密封构造的主要 部份之横剖面图; 第9(a)图为显示本发明第6实施例并且相当于第2(c) 图之横剖面图; 第9(b)图为显示第6实施例之鲁氏泵,沿着圆柱形块 与后壳件之间的疆界截取之横剖面图; 第10(a)图为沿着第9(b)图中线10a-10a截取之横剖面图 ; 第10(b)图为沿着第9(b)图中线10b-10b截取之横剖面图 。 |
