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发明名称 REACTOR FOR LIQUID PHASE EPITAXY METHOD
摘要
申请公布号 AU2003277846(A1) 申请公布日期 2004.04.30
申请号 AU20030277846 申请日期 2003.09.05
申请人 VISHAY SEMICONDUCTOR GMBH 发明人 JORG WEDERMANN
分类号 C30B19/06;C30B19/10;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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