| 发明名称 |
DEVICE FOR SEALING A PROJECTION ILLUMINATION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003273394(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.30 |
| 申请号 |
AU20030273394 |
申请日期 |
2003.08.26 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
LOTHAR GAIL;WILFRIED SCHIERHOLZ;EBERHARD JOST;ALBRECHT HOF;GUNTER MAUL |
| 分类号 |
G03B27/52;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03B27/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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