发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 AU2003252371(A1) 申请公布日期 2004.04.30
申请号 AU20030252371 申请日期 2003.08.04
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 KENJI FUKUDA;TSUTOMU YATSUO;SHINSUKE HARADA;SEIJI SUZUKI
分类号 H01L29/423;H01L21/04;H01L29/12;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/423
代理机构 代理人
主权项
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