| 发明名称 |
FLOW-TYPE THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND INJECTOR ASSEMBLY THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003258844(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.30 |
| 申请号 |
AU20030258844 |
申请日期 |
2003.09.01 |
| 申请人 |
IPS LTD. |
发明人 |
SANG-KYU LEE;HO-SEUNG CHANG;YOUNG-HOON PARK;HONG-JOO LIM;CHOON-KUM BAIK;JIN-PIL HEO;SANG-JIN LEE;CHUL-HYUN AN;HYUN-SOO KYUNG |
| 分类号 |
H01L21/20;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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