| 发明名称 |
Processing device, and processing device maintenance method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003261887(A8) |
申请公布日期 |
2004.04.30 |
| 申请号 |
AU20030261887 |
申请日期 |
2003.09.02 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED;DAIKIN INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
TAKAAKI HIROOKA;MASAO FURUYA;SHOHEI TSUTSUMI |
| 分类号 |
F25B9/00;F25B39/02;F28D7/04;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):F25D17/02;H01L21/302 |
主分类号 |
F25B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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