| 发明名称 |
METHOD FOR LITHOGRAPHICALLY STRUCTURING A SUBSTRATE, AND LACQUER SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003271518(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.30 |
| 申请号 |
AU20030271518 |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KLAUS ELIAN;JORG SCHUMANN |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/09;G03F7/20;H01J37/317 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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