| 发明名称 |
Verfahren und Gerät zur Endpunkterfassung beim chemisch mechanischen Polieren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19833052(B4) |
申请公布日期 |
2004.04.29 |
| 申请号 |
DE19981033052 |
申请日期 |
1998.07.22 |
| 申请人 |
MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG |
发明人 |
MEI, LEN |
| 分类号 |
G01B7/06;G01N17/00;(IPC1-7):H01L21/302;B24B49/04;B28D5/02;C30B33/00;G01N27/12;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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