ELLIPSOMETER,申请号DE19996012210T-传众专利搜索

发明名称	ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号	DE69912210(T2)	申请公布日期	2004.04.29
申请号	DE19996012210T	申请日期	1999.08.13
申请人	OLYMPUS OPTICAL CO., LTD.	发明人	MIZOGUCHI, IWAO;ARUGA, SUSUMU
分类号	G01B11/06;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21	主分类号	G01B11/06
代理机构		代理人
主权项
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