发明名称 METHOD FOR PRODUCING A GALLIUM NITRIDE EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 SG103342(A1) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 SG20020002210 申请日期 1998.10.15
申请人 LUMILOG 发明人 BEAUMONT, BERNARD;GIBART, PIERRE;GUILLAUME, JEAN-CLAUDE;NATAF, GILLES;VAILLE, MICHEL;HAFFOUZ, SOUFIEN
分类号 C30B29/38;C30B25/02;H01L21/20;H01L33/00;H01S5/323;(IPC1-7):C30B25/02;C30B29/40 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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