| 发明名称 |
BULK SILICON MIRRORS WITH HINGES UNDERNEATH |
| 摘要 |
A MEMS apparatus (100) comprises a bulk element (110), first and second hinges (121, 122), and a support (130). The bulk element (110) has a top and a bottom surface (112, 111), and the hinges are disposed below the top surface (112). |
| 申请公布号 |
WO03102631(A3) |
申请公布日期 |
2004.04.29 |
| 申请号 |
WO2003US16278 |
申请日期 |
2003.05.21 |
| 申请人 |
CAPELLA PHOTONICS, INC. |
发明人 |
VAN DRIEENHUIZEN, BERT, P.;WILDE, JEFFREY, P.;KUAN, NELSON |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C3/00;G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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