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发明名称 Reinigungseinrichtung für harte Oberflächen mittels cryogenen Aerosols
摘要
申请公布号 DE69333248(T2) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 DE19936033248T 申请日期 1993.04.08
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 MCDERMOTT, WAYNE THOMAS;WU, JIN JWANG;OCKOVIC, RICHARD CARL
分类号 B08B7/00;B24C3/12;B24C3/32;B24C9/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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