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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
摘要
申请公布号 DE19906398(B4) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 DE19991006398 申请日期 1999.02.16
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 DRES, PETER;KRAUS, PETER;APPICH, KARL;SZEKERESCH, JAKOB;WEIHING, ROBERT
分类号 B05D1/40;B05C11/08;B05D3/10;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08;H01F41/14 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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