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发明名称 Prüfkontaktsystem, das eine Planaritätseinstellmechanismus besitzt
摘要
申请公布号 DE10296944(T5) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 DE2002196944T 申请日期 2002.06.18
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 ALDAZ, ROBERT EDWARD;KHOURY, THEODORE A.
分类号 G01R1/073;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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