| 发明名称 |
A METHOD TO FORM SHALLOW TRENCH ISOLATION STRUCTURES FOR BORDERLESS CONTACTS IN AN INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG103252(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.29 |
| 申请号 |
SG20000000146 |
申请日期 |
2000.01.11 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
KENNY GOH HUA KOOI;LAP CHAN;YAP KOK SIONG |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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