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发明名称 A NOVEL STI SCHEME TO PREVENT FOX RECESS DURING PRE-CMP HF DIP
摘要
申请公布号 SG103378(A1) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 SG20020007462 申请日期 2002.12.05
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 VICTOR SENG KEONG LIM;PAUL PROCTOR
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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