用改进的减反射元件封装的红外检测器

摘要

一种红外检测器在具有空腔的盖板中有一个窗口，用以将检测器像素暴露给入射辐射。所述窗口具有以支柱区的形式形成在空腔内的减反射元件。在空腔中形成支柱结构区的方法是：首先将支柱刻蚀成所需图案，然后在整个区域进行一般刻蚀以便形成所述空腔。

主权项

1.一种封装盖板，它具有用以接纳红外检测器的空腔和用以将红外辐射透射到所述检测器的窗口区域，所述空腔内所述窗口区域的内表面具有这样成形和隔开的支柱区、以便形成对于透射过所述窗口区域的红外辐射的减反射元件。