| 发明名称 |
METHOD FOR THE PRODUCTION OF COATED SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1412552(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.28 |
| 申请号 |
EP20020791430 |
申请日期 |
2002.05.15 |
| 申请人 |
UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
RAMM, JUERGEN |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/00;C23C16/455;C23C16/50;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/461;(IPC1-7):C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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