| 发明名称 | 半导体生产设备管理系统 | ||
| 摘要 | 本发明是一种能实现半导体生产设备特色化管理的系统。该系统包括采集设备、故障、备品备件、采购信息外，该系统还有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析模块、快速实时获指定的设备管理参数。能在具有完备的设备相关数据条件下，运用通用软件工具，设计实现快速多层次的分析、计算、汇总、查询功能，从而使用户获得所要求的各类统计结果，并输出用户最终要求文件格式的报表。本系统通用性强，操作方便，投入使用后大大提高了设备的管理水平。 | ||
| 申请公布号 | CN1492474A | 申请公布日期 | 2004.04.28 |
| 申请号 | CN02146548.7 | 申请日期 | 2002.10.22 |
| 申请人 | 首钢日电电子有限公司 | 发明人 | 高华 |
| 分类号 | H01L21/00;G06F17/60 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 首钢总公司专利中心 | 代理人 | 史桂芬 |
| 主权项 | 1.一种半导体生产设备管理系统，包括采集设备、故障、备品备件、采购信息步骤：其特征在于：该系统有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析模块、快速实时获指定的设备管理参数。 | ||
| 地址 | 100041北京市石景山区八大处路45号 | ||