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发明名称 PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP0995093(B1) 申请公布日期 2004.04.28
申请号 EP19980932938 申请日期 1998.06.26
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 GRUDZIEN, CHRISTOPHER P.
分类号 G01L9/12;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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