一种防泄漏的真空密封装置

摘要

本实用新型涉及密封装置，特别适用于真空密封装置。在于底板上设有燕尾槽，燕尾槽内装有密封圈，与底板相对应连结的有倒T形上盖，在倒T形上盖内设有真空室，底板、倒T形上盖的两端通过紧固螺钉连结为一体，密封圈与燕尾槽的底面和侧面接触，其有益效果是在密封槽的内侧面(靠近真空室的一面)钻一个放气通孔，并通向槽底，消除残余气体的存在，残余气体不在通过侧密封面向真空室内释放，从而提高密封槽的密封性及真空室内的真空度。具有结构简单，制造方便等特点，适合各种密封系统的“O”形密封圈密封，特别是适用于真空密封系统的“O”形密封圈密封。广泛用于半导体材料制备、真空冶炼等设备中的密封结构。

主权项

1、一种防泄漏的真空密封装置，底板(1)上设有燕尾槽(7)，燕尾槽(7)内装有密封圈(2)，与底板(1)相对应连结的有倒T形上盖(4)，在上盖(4)内设有真空室(9)，底板(1)、倒T形上盖(4)的两端通过紧固螺钉(3)连结为一体，密封圈(2)与燕尾槽(7)的底面(8)和侧面(6)接触，其特征在于在燕尾槽(7)的侧面(6)与真空室(9)之间钻一个通孔(5)。