| 发明名称 | 具有温度补偿特征的温度控制方法和装置 | ||
| 摘要 | 一种具有温度补偿特征的温度控制方法和装置。此温度控制方法至少包括：操作主温度控制装置，来提供主温度特性曲线；提供补偿温度特性曲线，其中补偿温度特性曲线与主温度特性曲线互为镜射(Mirror Reflected)；以及根据主温度特性曲线来操作主温度控制装置，同时并根据补偿温度特性曲线来操作补偿温度控制装置。因此，当受控体的机台欲动作一特定程序时，则该补偿温度控制装置同时将以该特定程序的温度特性来补偿之，故温度能完全维持在设定温度。此主温度控制装置可为：具有主冷却液(Coolant)槽的冷却机(Chiller)，或PN接口(Junction)温度控制装置等，而此补偿温度控制装置可为：具有温度补偿冷却液槽的冷却机，或PN接口温度控制装置等，其中此补偿温度控制装置可为开放回路或封闭回路的自动控制方式。 | ||
| 申请公布号 | CN1492295A | 申请公布日期 | 2004.04.28 |
| 申请号 | CN02146940.7 | 申请日期 | 2002.10.24 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 萧义理;周梅生;彭进兴;黄见翎;陈择毅;李俊仪;吴学昌 |
| 分类号 | G05D23/00 | 主分类号 | G05D23/00 |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈红;徐金国 |
| 主权项 | 1、一种具有温度补偿特征的温度控制方法，是使用一主温度控制装置和一补偿温度控制装置，来控制一受控体在一标准受控温度值，该温度控制方法至少包括：操作该主温度控制装置，来提供一主温度特性曲线；提供一补偿温度特性曲线，其中该补偿温度特性曲线是以该标准受控温度值为基准，而与该主温度特性曲线互为镜射；以及根据该主温度特性曲线来操作该主温度控制装置，并根据该补偿温度特性曲线来同时操作该补偿温度控制装置。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||