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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE AND SPECTROSCOPY SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1412796(A1) 申请公布日期 2004.04.28
申请号 EP20020753135 申请日期 2002.08.05
申请人 RENISHAW PLC 发明人 BENNETT, ROBERT;WOOLFREY, ANDREW MARK;DAY, JOHN CHARLES CLIFFORD;BEWICK, ANGUS
分类号 G01N21/65;G01J3/02;G01N21/62;G01N21/64;H01J37/22;H01J37/256;(IPC1-7):G02B7/00;G02B21/06 主分类号 G01N21/65
代理机构 代理人
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