发明名称 EPITAXIAL SEMICONDUCTOR ON INSULATOR (SOI) STRUCTURES AND DEVICES
摘要
申请公布号 EP1412971(A2) 申请公布日期 2004.04.28
申请号 EP20020747050 申请日期 2002.07.17
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 EISENBEISER, KURT, W.;YU, ZHIYI;DROOPAD, RAVINDRANATH
分类号 C30B25/18;H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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