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发明名称 Multiple electron beam ion pump and source
摘要
申请公布号 US3022933(A) 申请公布日期 1962.02.27
申请号 US19590817426 申请日期 1959.06.01
申请人 ELLIS ROBERT E 发明人 ELLIS ROBERT E.
分类号 H01J27/04;H01J37/14 主分类号 H01J27/04
代理机构 代理人
主权项
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