| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR LOCALLY MEASURING THE LAYER THICKNESS OF A SAMPLE AND/OR FOR LOCALLY MODIFYING THE THICKNESS THEREOF WITH AN ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003270131(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.23 |
| 申请号 |
AU20030270131 |
申请日期 |
2003.08.30 |
| 申请人 |
GESELLSCHAFT FUR SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH |
发明人 |
RIDO MANN |
| 分类号 |
G01B15/02;(IPC1-7):G01B15/02 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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