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发明名称 ULTRSONIC WASHING EQUIPMENT AND ULTRASONIC WASHING METHOD
摘要
申请公布号 AU2003271113(A1) 申请公布日期 2004.04.23
申请号 AU20030271113 申请日期 2003.10.07
申请人 OKUNO, SHIN;SAKAKIBARA, MASATO;STAR CLUSTER CO., LTD.;SHIBANO, MIYUKI 发明人 SHIN OKUNO;MASATO SAKAKIBARA;MIYUKI SHIBANO
分类号 B08B3/04;B08B3/10;B08B3/12;C23G5/00;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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