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发明名称 Dark field inspection system
摘要
申请公布号 AU2003263109(A8) 申请公布日期 2004.04.23
申请号 AU20030263109 申请日期 2003.09.08
申请人 APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.;APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DORON KORNGUT;EREZ ADMONI;OFER KADAR;LEV HAIKOVIZ;HAIM FELDMAN;AVISHAY GUETTA
分类号 G01N21/47;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G02B27/48;(IPC1-7):G01N21/95 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
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